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牧村哲也

Makimura, Tetsuya

数理物質系 , 准教授
Institute of Pure and Applied Sciences , Associate Professor

http://www.bk.tsukuba.ac.jp/~makimura/

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41. レーザープラズマ軟X線による石英ガラスのナノ加工内田, 智; 藤森, 隆成; 牧村, 哲也; 村上, 浩一新納, 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2006: 49 (2006)
42. レーザープラズマ軟X線によるガス中での無機透明材料のアブレーション藤森, 隆成; 牧村, 哲也; 内田, 智; 村上, 浩一新納, 弘之
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2006: 53 (2006)
43. レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスの極微細加工牧村哲也; 内田智; 藤森隆成; 新納弘之村上浩一
レーザー学会第３５２回研究会報告 RTM-06: 53-56 (2006)
44. Direct micromachining of inorganic transparent materials using pulsed laser plasma soft X-rays Tetsuya, Makimura; Hisao, Miyamoto; Satohsi, Uchida; Hiroyuki, Niino (+1 著者) Kouichi Murakami
Conference proceeding series of Institute of Pure and Applied Physics 59: 279 (2006) Semantic Scholar
45. Ablation of silica glass using pulsed laser plasma soft X-rays T Makimura; Y Kenmotsu; H Miyamoto; H NiinoK Murakami
SURFACE SCIENCE 593: 248 (2005)
46. Direct micromachining of quartz glass plates using pulsed laser plasma soft x-rays T Makimura; H Miyamoto; Y Kenmotsu; K MurakamiH Niino
APPLIED PHYSICS LETTERS 86: (2005) Semantic Scholar
47. Ablation of silica glass using laser plasma soft X-rays at around 10 nm and ablation dynamics Tetsuya, Makimura; Hisao, Miyamoto; Satohsi, Uchida; Hiroyuki, Niino (+1 著者) Kouichi Murakami
Materials Processing for Properties and Performance 4: 267-269 (2005)
48. Nanomachining of quartz glass plates using pulsed laser plasma soft X-rays Satoshi, Uchida; Tetsuya, Makimura; Hisao, Miyamoto; Hiroyuki, Niino (+1 著者) Kouichi Murakami
Materials Processing for Properties and Performance 4: 261-263 (2005)
49. Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays Hisao, Miyamoto; Tetsuya, Makimura; Satoshi, Uchida; Hisao, Miyamoto (+2 著者) Hiroyuki Niino
Materials Processing for Properties and Performance 4: 261-263 (2005) Semantic Scholar
50. Direct micromachining of quratz glass plates using pulsed lsaer plasma soft x-rays Tetsuya, Makimura; Hisao, Miyamoto; Youichi, Kenmotsu; Kouichi, Murakami (+1 著者) Hiroyuki Niino
Applied Physics Letters 86: 103111-1 --- 103111- (2005)
51. レーザーとナノ物性 : レーザーアブレーションで創製したSiナノ構造の物性村上, 浩一; 牧村, 哲也; 深田, 直樹
The Review of laser engineering 33: 5 (2005)
52. In situ size measurement of Si nanoparticles and formation dynamics after laser ablation T Makimura; T Mizuta; T Takahashi; K Murakami
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING 79: 819 (2004) Semantic Scholar
53. Excitation of Er atoms by energy transfer from Si nanocrystallites embedded in SiO2 matrices fabricated by laser ablation T Makimura; H Uematsu; K Kondo; C LiK Murakami
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING 79: 799 (2004) Semantic Scholar
54. X線エキシトン法による石英のナノ加工牧村, 哲也; 劔持, 洋一; 宮本, 久生; 森, 道昭 (+1 著者) 村上, 浩一
電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2004: 1 (2004)
55. Nanomachining of inorganic transparent materials using an X-ray exciton method Tetsuya, Makimura; Youichi, Kenmotsu; Hisao, Miyamoto; Michiaki, Mori (+2 著者) Kouichi Murakami
Proceedings of SPIE 5662: 107-112 (2004) Semantic Scholar
56. Quartz micromachining using laser plasma soft X-rays and ultraviolet laser light 牧村,哲也; 村上,浩一
Applied Physcis Letters 85: 1274-1276 (2004)
57. Excitation of Er atoms by energy transfer from Si nanocrystallites embedded in SiO₂ matrices fabricated by laser ablation 牧村, 哲也
Applied Physics A 79: 799-801 (2004) Semantic Scholar
58. レーザアブレーション法による可視発光Siナノ微粒子の生成ダイナミックスと表面修飾水田, 泰治; 牧村, 哲也; 村上, 浩一
Journal of Japan Laser Processing Society 10: 277 (2003)
59. Optical excitation of Er ions with 1.5 mu m luminescence via the luminescent state in Si nanocrystallites embedded in SiO2 matrices T Makimura; K Kondo; H Uematsu; C LiK Murakami
APPLIED PHYSICS LETTERS 83: 5422 (2003) Semantic Scholar
60. Increase of 1.5 micro m Luminescence from Cryogenic Temperature to Room Temperature from Er-Doped SiO2 Films with Si Nanocrystallites Fabricated by Laser Ablation 牧村, 哲也
Jpn. J. Appl. Phys. 42: 3424-3428 (2003)

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1. Handbook of Laser Micro- and Nano-Engineering Makimura,Tetsuya (担当:分担執筆, 範囲:Optics and Apparatus for Excimer Laser/EUV Microprocessing)
Springer Nature Switzerland AG 2020年1月 (ISBN: 9783319695372)
2. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufactoring (LAMOM) XXIV Makimura,Tetsuya
SPIE 2019年3月 (ISBN: 9781510624528)
3. レーザープラズマ軟Ｘ線によるシリカガラスのアブレーションメカニズム鳥居, 周一; 牧村, 哲也; 新納, 弘之; 村上, 浩一 (担当:監修)
レーザー研究 2010年1月
4. レーザープラズマ軟X線アブレーションによる微細加工表面技術牧村哲也; 鳥居周一; 新納弘之; 村上浩一 (担当:監修)
表面技術 2009年11月
5. 2009 LASERS & ELECTRO-OPTICS & THE PACIFIC RIM CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS, VOLS 1 AND 2 Makimura, Tetsuya; Torii, Shuichi; Niino, Hiroyuki; Murakami, Kouichi (担当:分担執筆, 範囲:Nano- and micromachining of transparent materials using laser plasma soft X-Rays)
IEEE 2009年1月 (ISBN: 9781424438297)
6. 最新レーザプロセッシングの基礎と産業応用牧村哲也他共著; 牧村, 哲也
電気学会 2007年3月
7. COLA'05: 8TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON LASER ABLATION Makimura, Tetsuya; Miyamoto, Hisao; Uchida, Satoshi; Niino, Hiroyuki; Murakami, Kouichi (担当:分担執筆, 範囲:Direct nanomachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft x-rays)
IOP PUBLISHING LTD 2007年1月
8. COLA'05: 8th International Conference on Laser Ablation Makimura, Tetsuya; Uematsu, Hiroshi; Okada, Yuuki; Murakami, Kouichi (担当:分担執筆, 範囲:1.5 mu m light emission of Er 31 ions doped in SiO2 films including Si nanocrystallites and in SiOx films)
IOP PUBLISHING LTD 2007年1月
9. Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics Makimura, Tetsuya; Fujimori, Takashige; Uchida, Satoshi; Murakami, Kouichi; Niino, Hiroyuki (担当:分担執筆, 範囲:Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays)
SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING 2007年1月 (ISBN: 9780819467140)
10. ガラスの微細加工牧村哲也 (担当:監修)
2006年度光技術動向調査報告書（光産業技術振興協会） 2007年1月
11. Photon Processing in Microelectronics and Photonics IV Makimura, T; Kenmotsu, Y; Miyamoto, H; Uchida, S; Niino, H; Murakami, K (担当:分担執筆, 範囲:Micromachining of inorganic transparent materials using pulsed laser plasma soft X-rays at 10 nm)
SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING 2005年1月
12. 科学大辞典牧村哲也他共著; 牧村, 哲也
丸善 2005年1月
13. レーザーとナノ物性---レーザアブレーションで創製したSiナノ構造の物性--- 村上浩一; 牧村哲也; 深田直樹 (担当:監修)
レーザー研究 2005年1月
14. レーザーマイクロ・ナノプロセッシング牧村哲也他; 牧村, 哲也
シーエムシー出版 2004年1月
15. レーザーマイクロ・ナノプロセシング牧村, 哲也
シーエムシー出版 2004年1月
16. レーザーアブレーション法による可視発光Siナノ微粒子の生成ダイナミックスと表面修飾水田泰治; 牧村哲也; 村上浩一 (担当:監修)
レーザ加工学会誌 2003年1月
17. 1.54-micro m Photoluminescence of Er-Doped Silicon Nanoparticles Fabricated by Laser Ablation 牧村, 哲也
2000年1月
18. Formation of Si Nanoparticles Observed by Time-Resolved Imaging using a Laser Decomposition Method 牧村, 哲也
2000年1月
19. Doping of Si Functional Impurities in Si Nanoparticles Using Laser Ablation 牧村, 哲也
2000年1月
20. Si Nanoparticles in SiO₂ with Intense Visible Photoluminescence Synthesized from SiO_x Film Deposited by Laser Ablation 牧村, 哲也
2000年1月

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1. Ablation of polydimethylsiloxane elastomer using laser-plasma EUV radiation Oguchi, Kotaro; Kira, Erika; Urai, Hirari; Makimura, Tetsuya
16th International Conference on Laser Ablation 2022年4月24日
2. High-aspect micromachining of PDMS sheets using laser plasma EUV radiation Makimura, Tetsuya
The 22nd International Symposium on Laser Precision Microfabrication 2021年6月8日 Japan Laser Processing Society
3. Microfabrication of PDMS structures based on wave optics using EUV radiations from laser-produced plasma Makimura, Tetsuya; Urai, Hikari; Kira, Eriko; Niino, Hiroyuki
The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing 2019年5月21日
4. Microfabrication of PDMS structures based on wave optics using EUV radiations from laser-produced plasma Makimura, Tetsuya; Urai, Hikari; Kira, Eriko; Niino, Hiroyuki
The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing 2019年5月21日
5. Microfabrication of PDMS structures based on wave optics using EUV radiations from laser-produced plasma Makimura, Tetsuya; Urai, Hikari; Kira, Eriko; Niino, Hiroyuki
The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing 2019年5月21日
6. Silica ablation process induced by nanosecond EUV irradiation Makimura, Tetsuya; Torii, Shuichi; Niino, Hiroyuki
SPIE Optics + Optoelectronics 2019 2019年4月1日招待有り
7. Silica nano-ablation mechanism under irradiation with nanosecond EUV radiation Makimura, Tetsuya; Torii, Shuichi; Niino, Hiroyuki
SPIE Photonics West 2019年2月2日 SPIE
8. LPP EUV光によるPDMSの高アスペクトマイクロ加工牧村,哲也
第14回Ｘ線結像光学シンポジウム 2017年11月29日
9. Micrometer-scale photo direct machining of PDMS using laser plasma EUV light Makimura, Tetsuya; Urai, Hikari; Niino, Hiroyuki
The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication 2017年6月5日 LPM2017 Organizing Committee
10. Photo-direct machining of polymers using laser plasma EUV sources Makimura,Tetsuya
Pacific Rim Laser Damage 2017年5月21日招待有り
11. Micrometer-Scale Photo-Direct Machining of Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma EUV Radiations Urai, H; Makimura, T; Ogawa, M
15th International Conference on X-Ray Lasers (ICXRL) 2016年5月22日
12. Responses of organic and inorganic materials to intense EUV radiation from laser-produced plasmas Makimura, Tetsuya; Torii, Shuichi; Nakamura, Daisuke; Takahashi, Akihiko; Okada, Tatsuo; Niino, Hiroyuki; Murakami, Kouichi
Conference on Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics IV; and EUV and X-ray Optics - Synergy between Laboratory and Space III 2013年4月15日
13. Responses of polymers to laser plasma EUV light beyond ablation threshold and micromachining Makimura, Tetsuya; Torii, Shuichi; Okazaki, Kota; Nakamura, Daisuke; Takahashi, Akihiko; Niino, Hiroyuki; Okada, Tatsuo; Murakami, Kouichi
Conference on Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics III 2011年4月18日
14. レーザープラズマ軟Ｘ線による透明材料の微細加工法の探索鳥居, 周一; 牧村, 哲也; 新納, 弘之; 高橋, 昭彦; 岡崎, 功太; 秋山智哉; 中村, 大輔; 岡田, 龍雄; 村上, 浩一
電気学会研究会資料光・量子デバイス研究会__OQD-09-42__49-53 2009年
15. Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays Tetsuya, Makimura; Satoshi, Uchida; Takashige, Uchida; Kouichi, Murakami; and; Hiroyuki Niino
Optics and Optoelectronics 2007 (Prague)INVITED PAPER____ 2007年4月
16. Ablation of inorganic materials using laser plasma soft X-rays Tetsuya, Makimura; Satoshi, Uchida; Takashige, Uchida; Kouichi, Murakami; and; Hiroyuki Niino
Optics and Optoelectronics 2007 (Prague)INVITED PAPER____ 2007年4月
17. Silica nanomachining using laser plasma soft X-rays Tetsuya, Makimura; Satoshi, Uchida; Takashige, Fujimori; Hiroyuki, Niino; and; Kouichi Murakami
The 8th International Conference on Laser Precision Microfabrication (Vienna)____ 2007年4月
18. Silica nanomachining using laser plasma soft X-rays Tetsuya, Makimura; Satoshi, Uchida; Takashige, Fujimori; Hiroyuki, Niino; and; Kouichi Murakami
International Conference on Nanoelectronics, Nanostructures and Carrier Interactions (Atsugi)____ 2007年2月
19. Direct nanomachining of inorganic transparent materials using laser plasma soft X-rays Tetsuya, Makimura; Hisao, Miyamoto; Satoshi, Uchida; Takashige, Fujimori; Kouichi, Murakami; Hiroyuki, Niino
The 4th International Conference on Laser Advanced Materials Processing____ 2006年5月
20. Micrometer-scale high-aspect machining of PDMS elastomer using laser plasma EUV radiation MAKIMURA, Tetsuya
The 23th International Symposium on Laser Precision Microfabrication Japan Laser Processing Society

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1. : 光パターニングによる無機透明材料を加工する光加工装置及び光加工方法
牧村哲也
2. : シリコンナノパーティクルのパターニング方法及びこの方法に用いる有機分子
重川秀実; 畠賢治; 村上浩一; 牧村哲也
3. : Photo-machining appratus and photo-machining methods for machining inorganic transparent materials using photo-patterning
牧村哲也
4. PCT/JP02/11813: Photo machining apparatus and photo machining methods for machining inorganic transparent materials using photo-pattering
牧村哲也
5. 特願2004-034343: 軟X線加工装置及び軟X線加工法
牧村哲也; 村上浩一

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