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谷本久典

Tanimoto, Hisanori

数理物質系 , 准教授
Institute of Pure and Applied Sciences , Associate Professor

http://www.ims.tsukuba.ac.jp/~mizutani_lab/index.htm

オープンアクセス版の論文は「つくばリポジトリ」で読むことができます。

21. Solvent Design Methodology to Recycle Chamber Parts and Recover Platinum by Highly Selective Wet Treatment for Ni-Pt Sputtering System Takuya Futase; Yoshichika Sabae; Hisanori Tanimoto
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 52: 116505 (2013) Semantic Scholar
22. Fluoride Contamination Induced NiSi2 Film Formation in a Gate NiSi Line Takuya Futase; Hisanori Tanimoto
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 26: 355 (2013) Semantic Scholar
23. Stress-induced voiding in nickel silicide Takuya Futase; Toshiyuki Oashi; Hitoshi Maeda; Yutaka InabaHisanori Tanimoto
MICROELECTRONIC ENGINEERING 106: 116 (2013) Semantic Scholar
24. Size-Selective Formation of Hexagonal Silver Nanoprisms in Silver Citrate Solution by Monochromatic-Visible-Light Irradiation Hisanori Tanimoto; Satoru Ohmura; Yoshitaka Maeda
JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C 116: 15819 (2012) Semantic Scholar
25. Uniform, Low-Resistive Ni-Pt Silicide Fabricated by Partial Conversion With Low Metal-Consumption Ratio Takuya Futase; Takeshi Kamino; Yutaka Inaba; Hisanori Tanimoto
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 24: 545 (2011) Semantic Scholar
26. Uniform, Low-Resistive Ni-Pt Silicide Fabricated by Partial Conversion With Low Metal-Consumption Ratio Futase, Takuya; Kamino, Takeshi; Inaba, Yutaka; Tanimoto, Hisanori
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 24: 545 (2011) Semantic Scholar
27. Removing imperceptible fluoride residue after chemical dry-cleaning to fabricate uniform low-resistance NiSi film Takuya Futase; Hisanori Tanioto; Mitsuo Kimoto; Hideaki Tsugane (+1 著者) Hiroshi Tobimatsu
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 29: (2011) Semantic Scholar
28. Probable Carrier Localization in Nanoporous Gold Prepared by Se-lective Etching H., Tanimoto; T., Shintani; H; Mizubayashi
Proc. 7th Int. Conf. 7th International Conference on Porous Metals and Metallic Foams (MetFoam), Busan, Korea 655-660 (2011)
29. 23aGQ-7 ナノ構造系金属におけるパルス通電による格子励起と構造緩和(23aGQ 格子欠陥・ナノ構造(炭素ナノ材料・ダイナミクス),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン)) 谷本, 久典; 曽我, 陽介; 茂木, 卓也; 水林, 博
Meeting abstracts of the Physical Society of Japan 66: 998 (2011)
30. Dissolved-Oxygen-Induced Intensive Pitting Corrosion of Amorphous ZrCu Alloys in Thin NaCl Solutions Hisanori Tanimoto; Yosuke Soga; Yoshinobu Takayanagi; Hiroshi Mizubayashi
MATERIALS TRANSACTIONS 52: 1402 (2011) Semantic Scholar
31. Partial conversion as a first silicidation process to fabricate low-resistive and low-leakage nickel silicide film in advanced CMOSs T., Futase; T., Kamino; Y., Inaba; and (+1 著者) 谷本, 久典
Proc. 11th IEEE Int. Workshop Junction Technol. (IWJT), Kyoto, Japan 55-60 (2011) Semantic Scholar
32. Stress-induced voids in nickel silicide: Disconnection of Narrow (Ni-Pt)Si between Gate Canyons on Wide Active Area T., Futase; Toshiyuki, Oashi; Hitoshi, Maeda; Yutaka, Inaba (+2 著者) 谷本, 久典
Proc. 2011 IEEE Int. Interconnect Technol. Conf. (IITC),Dresden, Germany 193-195 (2011)
33. TiCl4 Soak on NiSi: Selective Formation of Pure Sub-Nanometer NiTi to Reduce Contact Resistance Takuya Futase; Naoto Hashikawa; Hirohiko Yamamoto; Hisanori Tanimoto
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 24: 325 (2011) Semantic Scholar
34. TiCl4 soak on NiSi: Selective formation of pure sub-nanometer NiTi to reduce contact resistance T., Futase; N., Hashikawa; H., Yamamoto; and (+1 著者) 谷本, 久典
IEEE Trans. Semicond. Manuf. 24: 325-332 (2011)
35. Effects of Cu Self-Capping and Ta Capping on Nanometer-Sized Cu Films Sputter-Deposited on beta-Ta Hisanori Tanimoto; Takayuki Sugimori; Shoichiro Kumamoto; Hazuki MatsuiHiroshi Mizubayashi
MATERIALS TRANSACTIONS 52: 1 (2011) Semantic Scholar
36. 23pWZ-7 金ナノ結晶の異常格子収縮と空孔濃度温度変化(23pWZ 格子欠陥・ナノ構造(金属,点欠陥,シュミレーション),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン)) 谷本, 久典; 福田, 和生; 茂木, 卓也; 水林, 博 (+1 著者) 白井, 泰治
Meeting abstracts of the Physical Society of Japan 65: 893 (2010)
37. 23pWZ-14 a-Si(H)の光照射誘起脱水素の現象と機構(23pWZ 格子欠陥・ナノ構造(金属,点欠陥,シュミレーション),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン)) 谷本, 久典; 水林, 博; 坂田, 功
Meeting abstracts of the Physical Society of Japan 65: 895 (2010)
38. Crystalline grain size of nickel-platinum silicide films and their impact on device characteristics Yonamoto;Y; Futase;T; Akamatsu;N; Inaba;Y (+1 著者) 谷本, 久典
Proc. 18th IEEE Int. Symp. Semiconductor Manufacturing (ISSM) 6-9 (2010)
39. Pattern-independent, fine-morphology Ni-Pt silicide formation by partial conversion with low metal-consumption Futase;T; Kamino;T; Hashikawa;N; Inaba;Y (+3 著者) 谷本, 久典
Proc. 48th Annual IEEE Int. Reliability Physics Symp. (IRPS) 988-994 (2010)
40. Disconnection of NiSi shared contact and its collection using NH3 soak treatment in Ti/TiN barrier metallization Futase;T; Funayama;K; Hashikawa;N; Tobimatsu;H (+2 著者) 谷本, 久典
Proc. 48th Annual IEEE Int. Reliability Physics Symp. (IRPS) 995-1000 (2010)

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1. まてりあ(日本金属学会報)、“高密度金属ナノ結晶材の創製とその力学特性” 谷本久典
日本金属学会 2014年11月
2. まてりあ(日本金属学会報)、“単色可視光照射によるサイズ選択的六角板銀ナノ粒子の形成‐光励起場を利用した金属ナノ粒子の形態制御に向けて” 谷本久典
日本金属学会 2014年11月
3. 2011 IEEE INTERNATIONAL INTERCONNECT TECHNOLOGY CONFERENCE AND MATERIALS FOR ADVANCED METALLIZATION (IITC/MAM) Futase, Takuya; Oashi, Toshiyuki; Maeda, Hitoshi; Inaba, Yutaka; Tanimoto, Hisanori (担当:分担執筆, 範囲:Stress-induced Voids in Ni-Pt Silicide: Disconnection of Narrow (Ni-Pt)Si between Gate Canyons on Wide Active Area)
IEEE 2011年1月 (ISBN: 9781457705021)
4. 2011 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING (ISSM) AND E-MANUFACTURING AND DESIGN COLLABORATION SYMPOSIUM (EMDC) Futase,Takuya; Tanimoto,Hisanori (担当:分担執筆, 範囲:3R on Nickel Silicidation: Reduction of CoO for Ni-Pt Sputtering)
IEEE 2011年1月 (ISBN: 9781457716478)
5. マクロおよびナノポーラス金属の開発最前線谷本久典
シーエムシー出版 2011年1月
6. ナノポーラス金属の開発最前線谷本久典 (担当:監修)
金属・アグネ 2010年1月
7. ナノマテリアルハンドブック、“４．２．３ナノ結晶の力学特性” 水林博; 谷本久典
エヌ･ティー･エス 2005年1月
8. Nanophase and Nanostructured Metals, Vol. I Synthesis and Characterization, "20.1 Elasticity Study of Metal Nanometer Films" and "20.2 Mechanical Behavior of High Density Nanocrystalline Gold" H., Mizubayashi; H., Tanimoto
Tsinghua University Press 2000年1月
9. Newly Developed Method of the Measurement for Conversion Electron Mossbauer Spectroscopy and its Applications in Materials Science 谷本, 久典
1990年1月

1. CrCoNi とCrCoNiFeMn 合金の電気抵抗率および化学的短距離秩序 Yue, Yu; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会春期講演会 2022年3月16日日本金属学会
2. 光照射クエン酸銀水溶液中の銀ナノ粒子形成に及ぼす界面効果 Tan, Anfu; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会春期講演会 2022年3月16日日本金属学会
3. FeMnMo 合金の組織と動的弾性率温度変化松本海杜; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会春期講演会 2022年3月16日日本金属学会
4. Electrical Resistivity and Chemical Short Range Order of CrCoNi Medium Entropy Alloy Yue, Yu; Tanimoto, Hisanori
Materials Research Meeting 2021 2021年12月13日 MRS Japan
5. 光照射クエン酸銀水溶液中の銀ナノ粒子形成に与えるガラスビーズの影響 Tan, Anfu; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会秋期講演会 2021年9月16日日本金属学会
6. CrCoNi中エントロピー合金の電気抵抗率および化学的短距離秩序 Yue, Yu; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会春期講演会 2021年9月15日日本金属学会
7. Fe-Mn 系反強磁性合金のエリンバー特性と組織および磁性東史弥; 喜多英治; 谷本, 久典
日本金属学会春期講演会 2021年3月18日日本金属学会
8. 中及び高エントロピー合金の焼鈍による電気抵抗変化 Tanimoto, Hisanori; 河村茉里
日本金属学会春期講演会 2021年3月18日日本金属学会
9. 光照射クエン酸銀水溶液中銀ナノ粒子に与えるセルロースナノファイバーの影響 Tan, Anfu; 滝本, 健太; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会春期講演会 2021年3月18日日本金属学会
10. Electrical resistivity change of CrMnFeCoNi high-entropy alloy by electropulsing and annealing Tanimoto, Hisanori; 穂積遼; 河村茉里
2020 Virtual MRS Fall Meeting 2020年11月3日 MRS
11. Fe-Mn 系反強磁性合金の圧延・焼鈍による組織変化とエリンバー特性東史弥; 谷本, 久典
日本金属学会秋期講演会 2020年9月17日日本金属学会
12. CrMnFeCoNi高エントロピー合金の焼鈍・パルス通電組織変化 Tanimoto, Hisanori; 穂積遼; 河村茉里
日本金属学会秋期講演会 2020年9月17日日本金属学会
13. クエン酸銀水溶液への可視光照射による近赤外光吸収銀ナノ粒子作製II 滝本, 健太; Tan, Anfu; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会秋期講演会 2020年9月17日日本金属学会
14. 非晶質合金パルス通電結晶化に及ぼす電流密度及び自由体積の影響河村茉里; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会春期講演会 2020年3月19日日本金属学会
15. クエン酸銀水溶液への可視光照射による近赤外光吸収銀ナノ粒子作製滝本, 健太; 市川大晶; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会春期講演会 2020年3月19日日本金属学会
16. CrMnFeCoNi高エントロピー合金焼鈍材のパルス通電組織変化穂積遼; 河村茉里; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会春期講演会 2020年3月19日日本金属学会
17. Heによる非晶質合金のパルス通電結晶化抑制と自由体積の関係河村茉里; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会秋期講演会 2019年9月11日日本金属学会
18. 選択腐食法で作製されたナノポーラス金のリガメント格子収縮佐藤広也; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会秋期講演会 2019年9月11日日本金属学会
19. XAFSによる可視光照射後クエン酸銀水溶液中における銀化学状態の評価市川大晶; 滝本, 健太; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会秋期講演会 2019年9月11日日本金属学会
20. CrMnFeCoNi高エントロピー合金のパルス通電組織変化穂積遼; 河村茉里; Tanimoto, Hisanori
日本金属学会秋期講演会 2019年9月11日日本金属学会